Круглый стол по стандарту ИСО
Новости | 1/2010 (33) январь-март
«ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 8: Классификация молекулярных загрязнений в воздухе»
В сентябре 2009 года в России введен в действие очередной стандарт из серии «Чистые помещения и связанные с ними технологические среды». Новый документ посвящен классификации молекулярных загрязнений в воздухе производственных помещений с контролируемой средой. В качестве международного стандарта документ действует с 2006 года, и, учитывая его важность, наш журнал публиковал перевод наиболее важных частей этого стандарта в трех номерах 2007 года.
Стандарт предназначен для использования в целом ряде отраслей промышленности, на предприятия которых присутствие в воздушной среде молекулярных загрязнителей может оказать негативное влияние на качество выпускаемой продукции. Сюда можно отнести полупроводниковую, космическую, фармацевтическую промышленность и производство медицинских устройств. Источником такого рода загрязнений может быть как наружный воздух, так и сам технологический процесс, включая оборудование, расходные материалы и персонал.
Данный стандарт неприменим для производства или в тех процессах, где присутствие молекулярных загрязнений воздуха не считается риском для продукта или процесса.
Стандарт устанавливает классификацию молекулярных загрязнений по их виду (отдельным веществам или их группам), а также по концентрации этих загрязнений. Кроме общих положений, он содержит пять справочных приложений, позволяющих получить данные по определению молекулярных загрязнений воздушной среды, их источниках, мероприятиях по их контролю, типовым методам испытаний и анализа, устройствам для отбора проб, а также ознакомиться с требованиями к изолирующим устройствам.
Хотелось бы отметить, что этот стандарт, в первую очередь, актуален для полупроводниковой промышленности. Именно эта отрасль инициировала его разработку в связи с развитием новых технологий и миниатюризацией изделий и является наиболее искушенной в понимании вышеозначенных проблем.
Сейчас в России этой проблемой начинают интересоваться на целом ряде предприятий в связи с внедрением высоких технологий, в том числе и нанотехнологий. Следует отметить, что требования этого стандарта уже были приняты во внимание при проектировании комплекса чистых помещений самого современного в России полупроводникового производства на площадке ОАО «НИИМэ и Микрон». Поэтому Редакция нашего журнала выступила с инициативой проведения круглого стола, посвященного обсуждению проблем, связанныхс наличием молекулярных загрязнений в воздушной производственной среде (АМС -airborne molecular contamination).
2 марта в ОАО «НИИМЭ и Микрон» состоялся круглый стол, на который собрались ведущие специалисты и представители руководства предприятия, а также представители ЗАО «ЭКОПРОЕКТ», осуществляющего проектирование и строительство фабрики 180 нм.
В презентации М. Винокура, зам. Генерального директора, кроме исторического аспекта обсуждаемых вопросов, подробно был очерчен круг проблем, представляющих опасность для производственных процессов и связанных с возникновением коррозии, ростом окислов, замутнением пластин и оптики и непреднамеренным легированием, а также пути удаления АМС. Докладчик перечислил источники АМС, остановился на методах отбора проб и их анализа и отметил важность периодического контроля АМС.
Руководитель группы отдела ОРСИ (отдела развития систем инфраструктуры) А.В. Маркин подробно ознакомил участников со структурой стандарта ИСО 14644-8 и акцентировал свое внимание на проблемах очистки воздуха от молекулярных загрязнений и выбору фильтров для этих целей. Также был затронут вопрос о возможности связать данные о поверхностной концентрации загрязнений на пластинах с объемной концентрацией этих примесей в воздухе.
Большой интерес вызвал доклад О.П. Гущина, начальника лаборатории отдела перспективных технологий, посвященного конкретным проблемам АМС на участке фотолитографии. Здесь контроль АМС наиболее критичен. Так, один из элементов установки фотолитографии - объектив, одна из самых дорогих его частей, при контроле АМС может работать годы, а без пристального внимания к проблемам АМС, такое оборудование быстро выходит из строя. Цена вопроса очевидна. Докладчик остановился на организации каскадного контроля АМС, начиная от контроля молекулярных загрязнений в воздухе, поступающем в ЧП, до контроля АМС в среде оборудования. Он озвучил периодичность контроля АМС и отметил связь этой периодичности со временем жизни фильтров.
Гайдуков А.Д., Генеральный директор ЗАО «ЭКОПРОЕКТ», в своем выступлении отметил, что с проблемами защиты от АМС пришлось столкнуться еще на стадии проектирования производства 180 нм. Он перечислил принципы и средства контроля АМС, которые при этом были заложены.
Начальник отдела ОРСИ А.Д. Про-сий сообщил, что в рамках создания производств СБИС с проектной нормой 180 нм и менее все вопросы защиты продукта от воздействия AMC решены. Эти производства оснащены всеми необходимыми техническими средствами, которые обеспечивают надежную защиту изделий от АМС.
Состоявшееся мероприятие имеет большую важность в том смысле, что впервые эта тема обсуждается в таком представительном и координированном виде и на примере производства, где применена защита от AMC. Редакция надеется в следующих номерах журнала подробнее ознакомить читателей с материалами этого круглого стола.
ФАРМТЕХ 2009 - ИСТОЧНИК ВДОХНОВЕНИЯ
В ноябре 2009 года в Москве успешно прошла 11-я Международная выставка «ФАРМТЕх - Технологии фармацевтической индустрии», ставшая хорошей традицией для предприятий фармацевтического сектора. В выставке приняло участие 192 компании из 21 страны мира, 7 110 посетителей из России и стран СНГ.
Также в рамках выставки с большим успехом прошел форум «Фармтех-пром», на котором среди 300 участников были рассмотрены актуальные вопросы практического внедрения принципов GMP С докладами выступили ведущие эксперты и аналитики фармацевтической отрасли. Представленная на выставке продукция, оборудование и проекты позволили оценить современный уровень технологий, работу оборудования на многочисленных презентациях, заключить прямые контракты и получить консультации высококвалифицированных специалистов.
Организатором выставки является международная компания ITE, на счету которой проведение около 200 ежегодных специализированных выставок и конференций по всему миру.
По общему мнению посетителей и участников выставки, сегодня ФАРМТЕХ является центральной, можно даже сказать ключевой, площадкой для открытого и полезного общения специалистов фармацевтических предприятий, поставщиков оборудования и представителей регуляторных органов. И, наверное, самое главное, атмосфера на выставке позволяет забыть слово «конкуренция» и искренне радоваться встрече с коллегами.
В 2010 году международная выставка «ФАРМТЕХ - Технологии фармацевтической индустрии» и ее неизменный спутник, специализированный салон Cosmopharm, пройдут 23-26 ноября на новой площадке - во Всероссийском выставочном центре (ВВЦ) в павильоне № 75, одновременно с выставкой «Пищевые ингредиенты, добавки и пряности». Такое совместное проведение выставок позволяет демонстрировать на одной площадке широкий спектр оборудования, технологий и ингредиентов для фармацевтической, пищевой и косметологической отраслей. Команда «ФармТех-2010» приняла решение по разделению направлений «Лабораторное оборудование» и «Чистые помещения» в отдельные тематики выставки. Последнюю дополнит новое и актуальное для России направление «Промышленный клининг и дезинфекция фармацевтического производства».
